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          “基于多維色譜技術快速檢測電子氣中痕量雜質的檢測方法研究”通過驗收
          發布日期:2020-11-03 11:27 瀏覽次數:


          2020年10月27日,上海市市場監督管理局組織召開了市局科技項目“基于多維色譜技術快速檢測電子氣中痕量雜質的檢測方法研究”(項目編號:2018-18)驗收會。驗收專家組聽取了項目組的匯報,審閱了項目組提供的驗收材料,經充分討論,認為該項目已完成計劃任務,達到了規定的考核指標,一致同意該項目通過驗收。

          該項目針對4種典型電子工業用氣體四氟化碳、八氟丙烷、六氟化硫和氫氣,應用多維色譜系統,配合反吹、中心切割等技術,建立了一次性檢測其中8種雜質氫、氧、氮、氬、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧化亞氮的分析方法。結果重復性好,檢測效率高,檢出限遠優于市場檢測需求,具有很好的經濟效益和社會效益。基于項目研究內容,發表相關學術論文2篇,完成團體標準送審稿1項,撰寫電子氣痕量雜質檢測方法通則的操作規范1份。

          項目成果項目成果為我國半導體、光電子信息產業用的關鍵基礎材料電子氣的品質檢驗提供技術支持,助力IC產業蓬勃發展。

           

           


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